Deposição de filmes finos de nitreto titânio através de nitretação à plasma em amostras de vidro utilizando gaiola catódica
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Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Piauí
Resumo
A nitretação um processo de tratamento termoquímico comum para aumento
de dureza superficial e resistência ao desgaste, sendo assim um processo que
oferece bastante vantagens industrialmente. A nitretação iônica veio para
oferecer mais rapidez e menos curtos no tratamento de uma peça, sendo assim
possível a adição de diversos materiais por conta da temperatura baixa de
tratamento, e rapidez. Com o avanço das tecnologias foram feitas melhorias no
processo de nitretação para evitar efeitos e borda, superaquecimentos, e
uniformidade de camada. Com isso foi introduzido a técnica de nitretação a
plasma com gaiola catódica onde o plasma retirava elétrons da gaiola, que se
combinam com outros elementos reativos são depositados no substrato em
potencial flutuante. As propriedades ópticas do TiN podem ter grande uso em
placas solares como filtros de infravermelho. O presente trabalho apresenta
uma revisão bibliográfica sobre a análise da eficiência da técnica de nitretação
com gaiola catódica em realizar deposições de Nitreto de Titânio (TiN) e suas
influências em amostras de vidro. Foram realizadas leituras a partir de artigos,
dissertações e teses a respeito dos tratamentos termoquímicos com
determinadas temperaturas, modificações na gaiola e em condições de
pressão e durações específicas. Foram evidenciadas as análises em que as
amostras foram caracterizadas e comparadas de acordo com suas condições
de tratamento. Os resultados obtidos desses testes comprovaram a deposição
de um filme fino de TiN em todas as condições de tratamento, comprovando a
eficiência e grande versatilidade desta técnica de deposição.
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Keywords
Nitretação à plasma, Gaiola catódica, Filmes finos de Nitreto de Titânio, Deposição por plasma, Vidro